萬向接口型。
可真空使用。
集裝型號：VVT320，VVT321

系列	流量特性 2→1 (A→P) C［dm3/（ sbar）］	流量特性 2→1 (A→P) b	流量特性 2→1 (A→P) Cv	消耗功率（W）	可真空使用
VT315	1.7	0.36	0.45	6～7	-100kPa